熔融石英为什么适合紫外光学?透过、荧光与加工怎么权衡

2026-10-07 林树鑫

熔融石英适合紫外光学,原因有三条:高纯合成料的透过可以延伸到约 185 nm 的深紫外;金属杂质极低,被紫外激发时自身几乎不发荧光;硬度、热膨胀和化学稳定性都适合做高精度抛光和镀膜。但"熔融石英"是一类材料而不是一个牌号,这三条并不是每个等级都同时成立。选型的关键是按工作波长、信号强弱和使用环境挑对等级,再把加工与镀膜的影响算进去。

滤光片

紫外透过从哪里来,又在哪里丢掉

普通光学玻璃含有多种氧化物组分和微量铁等过渡金属,紫外吸收边靠近可见光。以 BK7 类玻璃为例,约 350 nm 以下透过率就快速下降。熔融石英是单一组分的非晶 SiO₂,本征吸收边在真空紫外,所以紫外段的实际透过主要由纯度和缺陷决定。

实际看到的透过率由三部分损耗构成:

  • 表面反射。熔融石英在 248 nm 处折射率约 1.509,单面菲涅尔反射约 4%,未镀膜的平片两面合计损失约 8%。这部分与材料等级无关,只能靠增透膜解决。

  • 体吸收。它与厚度相关,由金属杂质和缺陷决定。材料厂给的透过数据通常对应 10 mm 厚度,换成 1 mm 窗口或 30 mm 棱镜,结论可能完全不同。

  • 散射。它来自表面粗糙度、亚表面损伤和内部气泡条纹。波长越短,同样的表面状态散射越明显。

同样叫石英,等级差别很大

工程上常见三类料。下表中的波段是行业常见的标称范围,具体数值应以材料厂的数据表为准。

对比项UV 级合成熔融石英天然石英熔制料(熔融石英玻璃)IR 级低羟基熔融石英
国内常见牌号JGS1JGS2JGS3
制备方式高纯硅化合物火焰水解合成天然水晶或石英砂熔制熔制或特殊工艺降低羟基
典型可用波段约 185–2500 nm约 220–2500 nm约 260–3500 nm
羟基(OH)含量高,数百至上千 ppm中等很低,ppm 量级
金属杂质极低较高视工艺而定
紫外激发下的荧光基本没有可见蓝紫色荧光部分牌号有蓝紫色荧光
红外吸收1.4、2.2、2.7 μm 附近有 OH 吸收带有 OH 吸收2.7 μm 附近基本无吸收
相对成本中到高低高,货源较少

读这张表要注意两点。高羟基让 UV 级料在深紫外透过好,但也带来红外吸收带,所以紫外到近红外宽谱共用一片料时必须折中。天然石英熔制料在 300 nm 以上的透过看起来并不差,常被用来降成本,问题往往出在荧光上,而不是透过上。

荧光背景:弱信号系统里比透过率更要紧

在荧光检测、拉曼光谱、紫外显微和流式分析这类系统里,探测的信号比激发光弱几个数量级。窗口、透镜或滤光片基片被紫外激发后发出的荧光,会直接叠加在信号通道上,后端滤光片无法区分它和样品信号。

石英的荧光主要来自金属杂质和缺氧型结构缺陷,所以天然料明显强于合成料。几个容易误判的地方:

  • 荧光强弱与透过率高低没有对应关系。一片在 365 nm 透过率很好的天然石英片,在 266 nm 激发下可能有明显背景。

  • 荧光与激发波长、功率和厚度都有关。"无荧光"需要说明测试条件,并在自己的激发波长下确认。

  • 背景不一定来自基材。胶合层、镀膜材料、表面残留的有机物和夹持件,都可能是荧光来源。

如果系统只做紫外照明、固化或能量传输,不涉及弱光探测,荧光通常不是约束条件,没有必要为它多付成本。

长期紫外辐照:初始透过不等于使用中的透过

熔融石英在强紫外或深紫外长期照射下会产生色心,典型的吸收带出现在约 215 nm 和 260 nm 附近,表现为透过率随使用时间逐渐下降。这种现象在准分子激光、低压汞灯 185/254 nm 和高功率深紫外 LED 系统里尤其需要考虑。

耐辐照能力与羟基含量、氢含量和制备工艺有关,不同牌号差别明显。来料检验时光谱合格,并不代表使用几百小时后仍然合格。这类应用应向材料厂索取对应波长的辐照数据,或在规格里指定牌号。

加工与镀膜因素

熔融石英的努氏硬度约 500–520 kg/mm²,热膨胀系数约 0.5×10⁻⁶/K,是 BK7 的十几分之一。抛光和镀膜过程中温度变化引起的面形漂移小,这是它适合做高精度紫外元件的原因之一。但加工环节有几处会直接影响紫外性能:

  • 亚表面损伤。研磨留下的微裂纹层如果没有被抛光充分去除,会成为紫外散射和激光损伤的起点,而且目视外观检查看不出来。

  • 表面粗糙度。散射损耗大致与(粗糙度/波长)² 成正比,同样的表面在 250 nm 处的散射约是 500 nm 处的 4 倍。可见光系统够用的抛光等级,放到深紫外可能不够。

  • 清洁度。抛光粉残留和有机污染在紫外段既吸收又发荧光,清洗和包装方式应该写进要求。

  • 镀膜。波长越短,可用的低吸收膜料越少,增透膜的带宽、残余反射和膜层吸收之间需要取舍,膜层本身也可能引入荧光。

  • 胶合。多数光学胶在紫外有吸收,也会老化发黄。紫外元件应尽量避免胶合结构,或单独评估胶层。

和其他紫外材料相比处在什么位置

材料短波端大致范围主要优势主要限制
UV 级熔融石英约 185 nm各向同性、低荧光、热膨胀小、易抛光、成本适中更短波长吸收上升;红外有 OH 吸收带
氟化钙 CaF₂可到真空紫外透过范围宽,色散低质软易划伤,热膨胀大,怕热冲击
氟化镁 MgF₂可到真空紫外短波透过好有双折射,成本高
蓝宝石深紫外(需 UV 级晶体)硬度高,耐磨耐压折射率高导致反射损失大,有双折射,加工成本高
BK7 类光学玻璃约 350 nm成本低,易加工不适合 350 nm 以下

185 nm 以上的大多数紫外应用里,熔融石英是综合代价最低的选择。波长更短,或者需要低色散配对消色差时,才需要考虑氟化物晶体。

选型与询价时应写清的条件

  • 工作波长或波段,以及是否同时用到可见光或近红外

  • 光源类型和功率密度:连续还是脉冲,是否长期照射

  • 是否用于荧光、拉曼等弱信号探测,激发波长是多少

  • 元件厚度和通光口径

  • 指定材料牌号,或写明可接受的等效牌号

  • 镀膜要求:波段、入射角、残余反射或透过指标

  • 表面质量、面形和清洁包装要求

  • 验收方式:光谱测试的波长范围和测试条件

相关产品可参考双面AR石英玻璃、窗口片和增透膜分类页,具体参数以对应详情页和项目规格为准。

常见问题

熔融石英和石英玻璃、石英晶体是一回事吗?
不是。石英晶体是结晶态 SiO₂,有双折射。熔融石英和石英玻璃都是非晶态,其中合成法制备的纯度更高,天然石英熔制的杂质更多。中文里这几个名称经常混用,采购时应以牌号或关键指标为准。

工作波长是 365 nm,需要用 UV 级合成料吗?
只看透过的话,天然石英熔制料甚至部分透紫外玻璃都能用。如果系统要探测弱荧光,或者光源功率高、照射时间长,再考虑合成料。

为什么换了一批窗口片,荧光背景变高了?
常见原因是材料等级或供应批次变了,也可能是镀膜、清洗或胶合环节的差异。排查时应在相同激发条件下,分别对比裸片和成品。

紫外窗口一定要镀增透膜吗?
不一定。未镀膜的两面反射损失约 7%–8%,对能量预算宽松的系统可以接受。镀膜能提高透过,但会带来带宽限制、膜层吸收和耐辐照方面的新约束。

JGS1 可以直接等同于进口合成熔融石英牌号吗?
两者类别相近,但羟基含量、均匀性、气泡等级和耐辐照表现不一定相同。深紫外激光或高均匀性要求的项目应按具体牌号的数据表核对。


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