熔融石英为什么适合紫外光学?透过、荧光与加工权衡

2026-10-08 林树鑫

熔融石英适合紫外光学,原因有三点:高纯合成料的吸收边在 200 nm 以下,紫外光能透过去;金属杂质极少,被紫外照射时自身几乎不发光;热膨胀系数很低,能按常规光学玻璃的工艺抛光和镀膜。这三点都只对合适的等级成立。同样叫"石英",天然原料熔制的料在 250 nm 以下透过明显下降,还会发出蓝紫色荧光。所以选型时要确定的是哪一级石英,以及透过、荧光和加工成本各让多少。

普通光学玻璃为什么过不了紫外

紫外波段的透过由材料的吸收边决定。N-BK7、B270 这类多组分玻璃含有碱金属、碱土金属氧化物,还有微量的铁等过渡金属离子,在 300–350 nm 附近就开始强烈吸收。10 mm 厚的 N-BK7 到 300 nm 时基本不透光。

熔融石英是近乎单一组分的非晶 SiO₂,本征吸收边在 160 nm 附近。实际能用到多短的波长,取决于杂质和结构缺陷,而这两项由原料和制造方法决定。


滤光片

同样叫石英,紫外表现差在哪里

类型(国内常用代号)原料与工艺紫外可用起点(约,10 mm 厚)紫外激发下的荧光红外侧特点适合的情况
合成熔融石英,紫外级(JGS1)SiCl₄ 等化学原料气相合成,羟基含量高约 185–190 nm很低1.38、2.2、2.7 µm 附近有羟基吸收深紫外、荧光检测、紫外激光
熔融石英,天然原料(JGS2)天然水晶粉熔制,含微量金属杂质约 220–260 nm,240 nm 附近常见吸收带蓝紫色荧光较明显同样受羟基影响300 nm 以上的一般紫外、可见光窗口
红外级石英(JGS3)低羟基工艺约 260 nm 起视原料而定可用到约 3.5 µm近红外到中红外,不面向深紫外

表中数字是行业通用的量级,不同厂家、不同牌号之间有差异。设计时应以所用牌号的内透过率曲线和样品厚度为准。

有两点容易被忽略。

一是羟基含量对紫外和红外的作用相反。紫外级合成石英的羟基含量高,紫外透过和抗辐照都好,代价是近红外出现吸收峰。如果一个元件要同时覆盖 250 nm 和 2.7 µm,无论选哪一级,总有一端要吃亏。

二是透过率数据必须带厚度。材料手册给的多是 10 mm 的内透过率,不含表面反射。未镀膜的石英每个表面反射约 3.5%–4%,双面合计损失 7%–8%,在深紫外还会略高。因此 2 mm 的窗口和 30 mm 的棱镜对材料等级的敏感程度完全不同。

荧光背景为什么在紫外系统里要单独考虑

在荧光检测、拉曼、紫外成像这类系统里,探测的信号本来就弱。如果窗口、透镜或滤光片基底被激发光照射后自己发光,这部分光会直接叠加到背景上。后级的发射滤光片挡不住它,因为它的波长落在信号通带内。

石英的自发荧光主要来自金属杂质和缺氧型缺陷。天然原料熔制的石英在 254 nm 或 365 nm 激发下常能看到蓝紫色荧光。合成熔融石英杂质含量低几个数量级,荧光通常弱到可以忽略。

判断是否需要低荧光料,可以看三个条件:

  • 激发波长越短、功率密度越高,基底荧光越明显

  • 元件在激发光路上(激发滤光片、二向色镜、物镜前窗口)比在发射光路上更敏感

  • 探测端是 PMT、sCMOS 等高灵敏器件时,更容易看到这部分背景

实测背景偏高时,也要排查材料以外的来源。胶合层、紫外胶、清洗残留的有机物、指纹和包装材料析出物,都会在紫外下发荧光。对荧光敏感的光路应尽量少用胶合结构。

长期紫外照射下的透过衰减

短波紫外会在石英内部产生色心。典型的吸收带在 215 nm 和 260 nm 附近,表现为使用一段时间后透过率逐渐下降。高能量脉冲激光(193 nm、248 nm 等)下,还可能出现材料致密化,使折射率变化。

低压汞灯、LED、氘灯这类连续光源下,紫外级合成石英一般够用。准分子激光等场合需要专门的抗辐照等级,应在询价时写明波长、能量密度、重复频率和预期寿命。

加工和镀膜上要付出的代价

熔融石英的线膨胀系数约 0.55×10⁻⁶/K,大约是 N-BK7 的十几分之一。热稳定性好,镀膜和使用中的温度变化引起的面形变化小。它比普通光学玻璃硬,化学稳定性也好,表面耐擦拭、耐清洗。

用在紫外时,几项加工要求会比可见光更严:

  • 表面粗糙度:散射损失大致与 (粗糙度/波长)² 成正比。同样的抛光面,在 250 nm 的散射约是 500 nm 的四倍。

  • 亚表面损伤:研磨留下的微裂纹和抛光再沉积层在紫外会吸收,在激光应用中是损伤起点。

  • 抛光残留:氧化铈等抛光粉残留会吸收紫外,深紫外元件对抛光工艺和清洗有额外要求。

  • 膜料选择:可见光常用的 TiO₂、Ta₂O₅ 在紫外吸收大,紫外膜系主要用 HfO₂、Al₂O₃、SiO₂、MgF₂ 及氟化物。可选的折射率差变小,同样指标需要更多层数,膜层自身的吸收和散射也要算进总透过。

  • 成本:石英硬度高,去除速度慢,加工周期比 BK7 类玻璃长。料价方面,紫外级合成料高于天然熔融料,大口径和高均匀性等级的差价更大。

也因为成本,石英不该默认选最高等级。365 nm 固化、UVA 检测用天然熔融石英通常就足够。只有工作波长在 250 nm 以下,或者荧光背景、激光损伤成为瓶颈时,合成紫外级的差价才值得付。

和其他紫外材料怎么比

材料紫外可用起点(约)荧光背景加工与使用特点主要取舍
合成熔融石英约 185 nm很低硬度适中,热膨胀极低,易镀膜低于约 180 nm 不够用;近红外有羟基吸收
氟化钙 CaF₂约 130 nm高纯料很低质软,热膨胀大,怕热冲击,易划伤透得更短、色散低,但加工和装配风险高
氟化镁 MgF₂约 120 nm低有双折射,需定向切割用于真空紫外,偏振敏感光路要注意
蓝宝石约 150–200 nm,取决于晶体品质取决于杂质(Cr、Ti 等)极硬,加工慢;折射率高,反射损失大;有双折射耐磨耐压好,光学加工成本高
N-BK7约 330–350 nm—加工成熟、成本低仅适合近紫外长波端和可见光

在 190–400 nm 范围内,熔融石英在透过、荧光、热稳定性和可加工性之间最均衡。更短的波长,或者需要与石英配对消色差时,再考虑氟化钙。

下单时应写清的条件

  • 工作波长或波段,包括最短波长

  • 元件厚度和通光口径

  • 光源类型和功率(或能量)密度,连续还是脉冲

  • 是否用于荧光或弱光探测,对基底荧光有无要求

  • 材料等级或指定牌号;不确定时,写明应用,由供应商建议

  • 镀膜要求:波段、入射角、偏振、透过或反射目标

  • 表面质量、面形、平行度等图纸要求及检测方式

激埃特的加工材料包括熔融石英,相关产品有窗口镜、双面AR石英玻璃、紫外窄带滤光片等。具体等级、尺寸和公差需按图纸逐项评估。

常见问题

熔融石英和石英玻璃、石英晶体是一回事吗?
熔融石英和石英玻璃都指非晶态 SiO₂。日常说法里,"熔融石英"常特指合成料,"熔石英"或"石英玻璃"有时指天然原料熔制的料,采购时应以牌号或代号为准。石英晶体(水晶)是晶态材料,有双折射,主要用于波片等偏振元件,和前两者不同。

365 nm 的应用一定要用紫外级合成石英吗?
不一定。365 nm 处天然熔融石英的透过已经很高,部分紫外透过性能较好的光学玻璃也能用。要不要升级,取决于荧光背景要求和功率密度,透过率在这里不是主要矛盾。

石英窗口用久了透过率下降,是材料问题吗?
可能是色心引起的材料老化,也可能是表面沉积了污染物,或者膜层退化。先清洁表面再复测。若仍然偏低,再对照光源波长和累计照射剂量,判断是否需要更换抗辐照等级。

熔融石英不镀膜可以直接用吗?
可以。未镀膜时双面反射损失约 7%–8%,同时带来杂散光和鬼像。对透过率或背景敏感的系统,可以加增透膜,但膜层会带来自身的吸收和波段限制。

怎么确认到货的石英是不是低荧光料?
用实际的激发波长,在暗环境下照射样品,与已知的合成石英样品对比发光强度。更可靠的做法是在规格中约定材料牌号,并要求供应商提供材料证明。


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