硅材料适合哪些红外波段?硅窗口与硅透镜选型要点
硅材料最适合的红外波段是 3–5 μm 中波红外,其次是 约 1.2–2.5 μm 的短波红外。在 8–14 μm 长波红外,硅只有做成薄片(约 0.5 mm 量级)时才有实用价值,典型用法是热电堆、热释电传感器的窗口基底,一般不用来做长波成像透镜。CO₂ 激光 10.6 μm 的透射元件通常也不选硅。高阻区熔硅在远红外和太赫兹波段会重新变得透明,是另一类用法。
所以选硅之前,先确认工作波段落在哪一段。确认可用之后,做硅窗口和硅透镜还要看五件事:材料等级与电阻率、厚度、增透膜、面型与楔角、工作温度。

硅材料适合哪些红外波段:按波段看结论
公开材料资料常把硅的透射范围写成"1.2–15 μm",再加上远红外的 30–100 μm 以上。这个范围是"能测到透过"的范围,不等于"整段都适合做光学元件"。按工程用途拆开看更清楚:
| 波段 | 硅的透过表现 | 常见用法 | 选型注意 |
|---|---|---|---|
| <1.1 μm(可见光、近红外) | 本征吸收,基本不透 | 利用这一点阻挡可见光 | 1064 nm 仍在吸收边附近,一般不做透射窗口 |
| 1.2–2.5 μm(短波红外) | 材料吸收低,透过好 | 1550 nm 窗口、SWIR 长波通滤光片基底 | 折射率约 3.47–3.50,反射损失大,需要增透膜 |
| 3–5 μm(中波红外) | 最主要的应用波段;约 6.5 μm 以内厚度对透过影响很小 | 中波热像窗口、透镜、红外滤光片基底 | 首选波段,重点转向镀膜和面型 |
| 5–7 μm | CZ 硅在 5.8 μm 有小吸收峰,约 6.5 μm 之后晶格吸收开始增强 | 视厚度和等级谨慎使用 | 需要看实际材料的透过曲线 |
| 8–14 μm(长波红外) | 晶格吸收明显,CZ 硅还有约 9 μm 的氧吸收峰;5 mm 厚样品在 8–10 μm 平均透过约 30%–38% | 约 0.5 mm 薄片做热电堆/热释电传感器窗口 | 成像透镜一般改用锗、硒化锌或硫系玻璃 |
| ≥ 约 50 μm(远红外、太赫兹) | 高阻区熔硅(HRFZ-Si)未镀膜透过约 50%–54% | 太赫兹透镜、窗口 | 必须是高电阻率、低补偿的区熔材料 |
注:表中透过数据来自公开材料厂商对未镀膜样品的测试,仅用于判断量级。实际元件以具体材料等级、厚度和镀膜后的实测曲线为准。
为什么硅在不同波段差别这么大
硅的透过窗口由三种吸收机制共同决定。
带隙吸收决定短波边界。 硅的带隙约 1.12 eV,对应吸收边在 1.1 μm 附近。比这更短的光会被材料吸收,所以硅对可见光不透明,从约 1.2 μm 起开始透过。吸收边并不陡峭,而且会随温度向长波方向移动。因此不能把硅本身当成一片截止边精确的长波通滤光片使用。
晶格吸收限制长波性能。 硅的多声子晶格吸收大约从 6.5 μm 开始,一直延伸到 25 μm 左右,所有等级的硅都有。这部分吸收和厚度有关,和电阻率无关。这就是长波段只能用薄片的原因。
杂质和自由载流子吸收由材料等级决定。 直拉(CZ)硅生长时会引入氧,在约 9 μm 形成明显吸收峰,在 5.8 μm 和 19.4 μm 也有吸收。区熔(FZ)硅的氧含量低约两个数量级,这些吸收峰明显减弱。自由载流子吸收随掺杂浓度和温度升高而增强,对长波影响最大。光学级硅通常是轻掺杂材料,电阻率多在 5–40 Ω·cm 范围。
做硅窗口时需要关注什么
1. 先定材料等级,不只写"硅"
图纸只写"材料:Si"是不够的,建议明确以下三项,或说明由供应商按波段评估:
生长方式: 3–5 μm 一般用 CZ 硅即可;涉及 8–14 μm 或对 9 μm 附近敏感时,优先评估 FZ 硅;太赫兹应用用 HRFZ 硅。
电阻率和导电类型: 影响自由载流子吸收,长波和高温应用尤其要写清楚。
晶向: 硅是立方晶体,没有双折射,透过率也不随晶向变化,这一点和 蓝宝石窗口需要关注晶向和双折射 不同。不过晶向会影响加工:{111} 是硅的主要解理面,切割、磨边和装夹时的崩边风险与晶向有关。
2. 厚度:中波看强度,长波看吸收
在 3–5 μm,约 6.5 μm 以内的材料吸收很低,窗口厚度主要由口径、压差和装夹方式决定。承压窗口应按口径、压差、断裂强度和安全系数计算厚度,不能只凭经验取值。
在 8–14 μm 则相反,厚度每增加一点,晶格吸收都会直接拉低透过率。长波窗口应尽量减薄,并在机械强度和透过率之间取舍。
3. 增透膜不是可选项
硅在中波的折射率约 3.42,单个表面的菲涅耳反射约 30%。未镀膜的硅窗口即使材料吸收很小,两面多次反射后总透过也只有约 54%。这也是很多硅窗口规格默认带 增透膜 的原因。
定增透膜规格时,要写清楚这几项:
工作波段,是 3–5 μm 宽带,还是某个单一波长
平均透过率或单面剩余反射率
入射角范围
环境耐久要求(湿热、盐雾、擦拭、户外暴晒)
宽带膜覆盖范围大,但平均剩余反射通常高于针对单一波长设计的膜。具体膜系设计思路可以参考 增透膜镀膜加工。
4. 面型与楔角:高折射率会放大误差
透射波前误差约等于(n−1)乘以表面高度误差。硅的 n−1 约为 2.42,普通光学玻璃约为 0.5。同样的物理面形误差,在硅窗口的透射波前上大约被放大到玻璃的 4.8 倍。
好在中波波长是 632.8 nm 检测波长的 5–8 倍,所以换算到工作波长后,要求未必更严。关键是规格要写明面型的评价波长,避免拿可见光干涉仪的数值直接套用。
用于激光、窄带探测或光谱仪器时,还要注意一点:两个高反射率表面之间会形成多光束干涉,产生条纹和鬼像。这类应用可以考虑给窗口加楔角,或提高增透膜要求。
5. 温度:同时影响折射率和透过率
硅的 dn/dT 约为 1.5–1.6×10⁻⁴/K。窗口受热不均时,会形成热透镜,引起附加波前畸变。
温度升高还会增加自由载流子浓度,使长波透过下降。硅的带隙比锗大,这个问题没有锗那么敏感,但高温工况仍建议在工作温度下验证透过率。
做硅透镜时需要关注什么
1. 高折射率带来的优势
做同样的焦距,硅透镜的曲率比低折射率材料平缓得多,单片球差更小,系统镜片数也可能更少。
硅的密度约 2.33 g/cm³,不到锗(约 5.33 g/cm³)的一半,在大口径中波镜头中有明显的减重优势。
2. 色散和消色差
在 3–5 μm 内,硅的色散较低。按公开折射率数据粗算,阿贝数约 250,大约是锗的两倍多。
中波镜头常见的消色差方案是:用硅做正透镜,用色散更大的锗做负透镜。硅单片用于宽带中波成像时,如果对色差要求不高,也可以独立使用。
3. 热离焦比锗小,但仍需评估
透镜焦距随温度的变化,可以用"热光系数"近似估算:α − (dn/dT)/(n−1)。
| 材料 | 热光系数(估算) |
|---|---|
| 硅 | 约 −64×10⁻⁶/K |
| 锗 | 约 −125×10⁻⁶/K |
也就是说,在中波系统里,硅的热离焦大约只有锗的一半。但宽温工作的镜头仍需要做无热化设计,硅并不能"自动免调焦"。
4. 加工路线要提前确认
球面硅透镜通常走研磨、抛光路线。非球面和衍射面可以采用单点金刚石车削,但硅硬而脆,刀具磨损和亚表面损伤控制都比锗难。
如果设计里有非球面或衍射面,建议在设计阶段就和厂家确认工艺可行性,以及检测方法。
5. 镀膜和冷反射
制冷型中波探测器系统中,高折射率表面反射回去的探测器自身"冷像"会形成冷反射(narcissus),在图像中央表现为暗斑或亮斑。硅透镜的增透膜质量直接影响这类杂散信号,镜头设计时要和光学设计一起评估。
硅、锗、硒化锌怎么取舍
| 参数(典型值) | 硅 Si | 锗 Ge | 硒化锌 ZnSe |
|---|---|---|---|
| 主要工作波段 | 1.2–2.5 μm、3–5 μm | 3–5 μm、8–12 μm | 可见光至约 16 μm,常用 8–12 μm 和 10.6 μm |
| 折射率(中波) | 约 3.42 | 约 4.0 | 约 2.4 |
| dn/dT(×10⁻⁶/K) | 约 150–160 | 约 396 | 约 61 |
| 密度(g/cm³) | 2.33 | 5.33 | 5.27 |
| 努氏硬度 | 约 1150 | 约 780 | 约 120 |
| 更适合 | 中波窗口和透镜、轻量化、滤光片基底 | 长波成像透镜、中波消色差负透镜 | CO₂ 激光、长波和多光谱 |
注:数据为公开材料手册常见典型值,不同等级和测试条件会有差异。
简单说:中波和短波优先考虑硅,长波成像优先考虑锗或硒化锌,CO₂ 激光透射元件选硒化锌。更完整的材料对比可参考 红外光学材料介绍:常用材料、透射波段与选型方法。
硅材料选型的常见误判
把"1.2–15 μm"当成整段可用。 8–14 μm 的实际透过受厚度和材料等级影响很大,不能直接套用中波的经验。
透过率指标不写条件。 透过率必须注明是否镀膜、波段(单点还是平均)、入射角和厚度。否则未镀膜约 54% 和镀膜后的单点高透过之间,会产生完全不同的理解。
长波或 9 μm 附近使用 CZ 硅。 氧吸收峰会直接造成透过凹陷,应评估 FZ 硅。
忽视电阻率和工作温度。 对长波、高温和太赫兹应用,这两项是关键参数,不是备注。
把硅片当作可见光截止滤光片。 硅的吸收边较缓,且随温度移动。需要明确截止边和截止深度时,应在硅基底上设计 红外滤光片 膜系。
询价时建议提供哪些信息
工作波段或中心波长,以及元件用途(窗口、透镜、滤光片基底)
图纸或关键尺寸:口径、厚度、曲率半径或焦距、通光孔径
材料要求:CZ、FZ 或 HRFZ,电阻率和导电类型;不确定时说明工作波段,由供应商评估
镀膜要求:波段、平均透过率或剩余反射率、入射角、环境耐久
面型(注明评价波长)、表面质量、平行度或楔角、倒边
工作温度、使用环境和数量
激埃特光电官网公开的红外光学产品包括 红外硅透镜、红外单晶硅片 和 红外透镜 等。如果项目已有工作波段、图纸、尺寸、镀膜和检测要求,可以提供给激埃特进行项目级评估。
常见问题
硅能做 8–14 μm 热像仪镜头吗?
一般不建议。硅在长波有晶格吸收,CZ 硅在约 9 μm 还有氧吸收峰。透镜往往较厚,透过率会明显下降。长波成像镜头通常选锗、硒化锌或硫系玻璃。薄硅片可以用于对透过率要求不高的长波传感器窗口。
硅窗口不镀膜透过率是多少?
在中波,硅的折射率约 3.42,单面反射约 30%。忽略材料吸收时,两面总透过约 54%。实际值还受厚度、波长和材料吸收影响,所以硅窗口通常需要镀增透膜。
中波透镜选硅还是锗?
单片中波透镜常选硅,因为重量轻、热离焦小、成本较低。需要校正宽带色差时,常用硅正透镜配锗负透镜。最终选择还要看口径、温度范围和镜头总体设计。
太赫兹应用用什么硅?
通常用高阻区熔硅(HRFZ-Si)。普通光学级硅的自由载流子吸收较大,不适合太赫兹透射元件。
硅能用于 1064 nm 激光吗?
1064 nm 仍处在硅吸收边附近,吸收明显,而且随温度变化,一般不用硅做 1064 nm 的透射窗口。1550 nm 已经进入硅的透明区,可以使用。
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参考资料
Crystran, Silicon (Si) Material Data Sheet
Tydex, Silicon for transmission optics
Frey, B. J., Leviton, D. B., Madison, T. J., “Temperature-dependent refractive index of silicon and germanium”, Proc. SPIE 6273 (2006)