激光全息光刻法制作光子晶体LED

2013-06-22 52
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激光全息光刻技术利用光的干涉衍射特性,通过特定的光束组合方式,来调控干涉场内的光强度分布,并用感光材料记录下来,从而产生光刻图形。

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